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有關(guān)旋干機關(guān)鍵技術(shù)的解決途徑

 更新時間:2017-01-05 點擊量:2874
  旋干機利用旋轉(zhuǎn)離心力的方式進行去離子水沖洗、熱氮氣烘干,DI水電阻率監(jiān)控、氮氣加溫、防靜電控制以及系統(tǒng)潔凈化處理來達到高潔凈度的片子清洗效果。設備由主機、相互獨立的工作腔體、片架載體、去離子水、氮氣控制系統(tǒng),以及PLC控制和操作系統(tǒng)組成。
  良好的旋干機是集流體、流體控制、精密機械、潔凈化處理、新材料、計算機控制、半導體工藝技術(shù)為一體的綜合系統(tǒng)技術(shù)整合。這些技術(shù)和單元所采用的關(guān)鍵技術(shù)及解決途徑主要體現(xiàn)在以下方面:
  1、潔凈化處理技術(shù)
  良好的旋干機屬高潔凈度要求下的“微特征”控制設備。因此,設備的潔凈化處理是系統(tǒng)內(nèi)各功能單元、部件、材料、加工工藝等眾多環(huán)節(jié)所要考慮的重要問題。
  2、大功率無刷電機驅(qū)動
  大功率無刷電機是設備的核心部件之一,國內(nèi)廠家共同合作開發(fā)、研制600W無刷伺服電機及配套驅(qū)動器,轉(zhuǎn)速范圍zui大3000rpm,解決設備的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動技術(shù)。
  3、沖洗工作腔體采用耐腐蝕不銹鋼分體焊接加工而成。重點解決了:腔體成型加工工藝;不銹鋼表面防護與焊接技術(shù);惰性處理工藝。
  4、轉(zhuǎn)軸氮氣密封技術(shù)
  片子在旋干機沖洗甩干腔內(nèi)工作時,要有一個密閉而潔凈的環(huán)境空間,轉(zhuǎn)軸處的密封即是隔離與腔體之間聯(lián)接的通道。
  5、去離子水控制
  根據(jù)相關(guān)指標、要求,在給定壓力、流量的條件下,必須達到要求的沖洗水流效果。同時可對水的電阻率值進行實時監(jiān)控測量,以判斷和給定相關(guān)工藝參數(shù)和工藝時序。

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